Topographie non destructive des surfaces par le moiré interférométrique

Abstract

Le présent travail a pour objectif la topographie non destructive des surfaces par le moiré interférométique.Ce pendant nous avons développé des montages expérimentaux basés sur le moiré interférométrique pour la topographie non destructive et le contrôle des surfaces réfléchissantes et transparentes.Cette méthode de contrôle offre des performances extrêmement importantes qui donnent des possibilités de détecter et de mesurer des défauts d’une grandeur submicrométrique sur des surfaces de l'ordre de quelques mm2 jusqu'à des surfaces plus importantes. Le principe de ce travail consiste à projeter la structure microscopique (réseau) sur la surface à inspecter.L’image du réseau s’imprègne de la topographie de la surface et vient se superposer sur le réseau de référence pour générer les franges de moiré.Le défaut détecté sur la surface par l’image du réseau est amplifié par l’effet de moiré et le grandissement généré par le montage optique.Donc le défaut microscopique est représenté en grandeur macroscopique,ce qui facilite la détection et le traitement automatique des données.