Topographie sans contact de précision des surfaces réduites par la technique de moiré

Abstract

La technique développée dans le cadre de cette thèse consiste en la mise au point, d’une méthode d’inspection,de la qualité de surface des composants de tailles réduites de l’ordre de quelques mm².Le moiré interférométrique est exploité dans un montage,où la surface est scannée par un faisceau laser qui véhicule une structure microscopique qui palpe la surface et enregistre les modifications de formes présentent sur la surface topographie.La résolution de détection des défauts dépend de la fréquence spatiale des réseaux utilisés.Les défauts microscopiques présents sur la surface sont amplifiés par l’effet de moiré et le montage optique,ce qui facilite la détection et le traitement automatique des données;lors d’un contrôle,il suffit de comparer la figure de moiré avec celle d’une pièce qui est considérée comme référence.