Caractérisation optomécanique des couches minces d’aluminium sur verre optique et simulation de l’indentation

Abstract

Lors de notre étude ; des couches minces d’aluminium d’épaisseur de 700, 1120, 1600 A° ont été déposés par évaporation thermique sous vide sur des substrats de verre optique. Leurs microstructures ont été analysées par diffraction des rayons X, et à l’aide d’un spectrophotomètre et un montage optique nous avons déterminé les propriétés optiques. Les propriétés mécaniques (dureté, module de Young,etcoefficient de poisson, limite élastique) sont déterminées par simulation numérique des essais de microindentation par la méthode des éléments finies, dans laquelle on a étudié l’influence de chaque paramètre sur le comportement de ces couches métalliques.