Contribution a l’etude de la surface et de la subsurface optique endommagee par des abrasifs

Abstract

Le meulage, le doucissage et le polissage sont généralement les trois étapes nécessaires à la fabrication des composants optiques. Malheureusement le meulage et le doucissage génèrent des défauts de surface et des défauts subsurfaciques dans une couche appelée « SSD SubSurface Damage ». Afin d'éliminer cette couche (SSD), sa taille doit être bien connue pour réduire le temps de polissage et produire des surfaces de très haute qualité. Dans ce travail, la couche endommagée ´SSD` de la vitrocéramique Zerodur® par le meulage avec et sans l’assistance ultrasonique à l’aide d’une machine à commande numérique (de type DMG 20 linéaire Sauer Allemagne) a été étudiée, en utilisant la technique des fossettes « Dimple technique ». La rugosité et la topographie de la surface ont été mesurées par un profilometre Taylor Hobson. L'effet ultrasonique sur la rugosité de la surface et la profondeur de la couche endommagée a été investigué. Une comparaison de la topographie de la surface généré pendant le meulage des échantillons de la vitrocéramique Zerodur® avec et sans l’assistance de vibrations ultrasoniques a été faite. En outre, l’effet ultrasonique et l’influence de la profondeur de coupe sur la qualité de la surface et la SSD ont été entrepris. Les résultats expérimentaux trouvés ont démontrés que la profondeur de la SSD générée par l’assistance ultrasonique est de 35% moins que celle générée par le procédé conventionnel.