ANALYSE ET CARACTÉRISATION DES SURFACES ET INTERFACES DES MATÉRIAUX DIÉLECTRIQUES, MÉTALLIQUES ET SEMICONDUCTEURS

Abstract

La présente thèse a pour objectif l'analyse et la caractérisation de la rugosité des surfaces et interfaces de trois classes de matériaux: le verre optique, l'acier, le silicium et aussi les couches minces sur substrats. Il s'agit donc d'utiliser des méthodes de caractérisation de la rugosité et exploiter les propriétés optiques en relation avec l'état de surface. Comme la connaissance de l'état de surface d'un élément ou d'un composant optique ou optoélectronique est indispensable pour atteindre la fonctionnalité voulue, les états de surfaces continuent toujours d'être considérés comme un domaine de recherche appliquée très important. Pour atteindre cet objectif on a réservé une partie à l'étude théorique du phénomène et les aspects mathématiques décrivant les paramètres de surface et l'interaction lumière matière. Quant aux techniques utilisées, on a appliqué les techniques de diffusion de la lumière, l'ellipsométrie, l'interférométrie à décalage de phase et la microscopie à contraste interférentiel. Ce spectre de technique est très complémentaire et reflète le caractère expérimental de cette thèse