Caractérisation optique des couches minces de TiN, TiO2 et TiOxNy par spectrophotométrie.

Abstract

Le développement prodigieux des lasers à forte puissance ainsi que la forte demande en filtres optiques impose à la technologie de revêtement de surface une parfaite connaissance des paramètres physiques qui déterminent la qualité de la couche mince déposée. Notre désir est par exemple, qu’un certain taux de lumière soit transmis ou réfléchi avec le minimum de pertes par absorption. Pour faire face à ces exigences, il est nécessaire de connaître à fond les aspects théoriques et pratiques de ces couches minces et de maîtriser parfaitement les technologies de dépôt (adhérence du film, épaisseur, etc.…). Le choix du nitrure de titane est intéressant pour ses propriétés anti- corrosives en plus de celles de l’antireflet. L’oxyde de titane est, quant à lui, très recherché pour ses propriétés de transmission sélective, de réflexion et de durabilité importante. L’oxynitrure de titane atténue considérablement la luminosité du jour (luminosité du soleil). Ce travail a été axé essentiellement sur la relation entre les paramètres optiques (indice de réfraction, facteurs d’absorption, de transmission et de réflexion) et l’épaisseur de la couche de dépôt. Un programme en Matlab a été mis au point afin de faciliter le calcul mathématique des constantes optiques des couches minces. L’influence des conditions climatiques de notre région sur les couches minces à été a un des axes principaux de ce travail. Parmi les avantages de la méthode proposée, outre sa facilité de mis en oeuvre, son étendue de mesure, elle permet aussi la caractérisation des couches ayant un indice de réfraction proche de celui du substrat.