MODELISATION ET SIMULATION DES MICROSYSTEMES A BASE DE CERAMIQUES

Abstract

Le travail présenté dans ce mémoire s’inscrit dans le cadre des études d’intégration des composants électroniques en général et des microsystèmes piézoélectriques en particulier connus sous le nom de MEMS (Micro Electro Mechanical Systèmes). Deux applications sont exposées dans ce travail : les micro transformateurs et les transducteurs pour le contrôle actif des vibrations. Il est présenté dans le premier chapitre, un rappel sur la piézoélectricité et un état de l’art de leur utilisation. Dans le deuxième chapitre sont présentées deux techniques de caractérisation et de quantification des effets direct et indirect de la piézoélectrique. La deuxième partie répartie sur les chapitres trois et quatre est consacré à l’étude de la modélisation et la simulation du transformateur piézoélectrique et enfin les capteurs et les actionneurs à base de céramique piézoélectrique sont modélisés et simulés pour le contrôle actif d’un système multivariable (MIMO). Celui ci est comparé au système mono-variable (SISO).